[发明专利]一种抛光液供给装置及系统在审
| 申请号： | 201711405093.6 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108145595A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 佀海燕;王广峰;赵宁 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 毕翔宇 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光液供给装置及系统，抛光液供给装置，其特征在于，包括：抛光液供给模块和抛光液供给管路；所述抛光液供给模块包括：供液管路、回流管路和并联管路；所述供液管路的进液口与抛光液供给源连接；所述供液管路的出液口分别与所述回流管路的回流口和并联管路的进口连通；所述并联管路的出口与所述抛光液供给管路入口连通；所述回流管路用于流经所述供液管路的部分或者全部抛光液不参与抛光作业直接回流排出。本发明通过设置回流管路，将部分抛光液分流并回流到原供液端，由此可保证无论是否进行抛光作业，供液管路中的抛光液始终保持流动状态，从而可以有效避免抛光液凝固，堵塞供液管路。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 供液管路 回流管路 抛光液供给装置 并联管路 供给管路 供给模块 抛光作业 连通 流动状态 出液口 供给源 供液端 回流口 进液口 排出 凝固 堵塞 分流 进口 出口 保证 | ||
【主权项】：
一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：抛光液供给模块和抛光液供给管路；所述抛光液供给模块包括：供液管路、回流管路和并联管路；所述供液管路的进液口与抛光液供给源连接；所述供液管路的出液口分别与所述回流管路的回流口和并联管路的进口连通；所述并联管路的出口与所述抛光液供给管路入口连通；所述回流管路用于流经所述供液管路的部分或者全部抛光液不参与抛光作业直接回流排出。
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