[发明专利]一种柔性氧化铪基铁电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201711405781.2 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108039408A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 姜杰;周益春;涂楠英;彭强祥 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L21/822 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 杨唯 |
| 地址： | 411100 湖南省湘*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种制备柔性氧化铪基铁电薄膜的方法包括以下步骤：1)在单晶柔性云母片上采用磁控溅射制备TiN底电极或者采用激光脉冲沉积法制备钙钛矿结构氧化物SRO底电极；2)采用溶胶凝胶法制备铁电薄膜的前驱体溶液，其中，前驱体溶液的浓度为0.01‑0.05mol/L，铁电薄膜材料选自锆掺杂的氧化铪和钇掺杂的氧化铪中的任意一种；3)氧化铪基铁电薄膜的制备，采用旋涂法在上述SRO或者TiN底电极上旋涂上述前驱体溶液，得到均匀湿膜；4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理；5)重复步骤3)‑4)若干次即得到目标柔性氧化铪基铁电薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 氧化 铪基铁电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备柔性氧化铪基铁电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在单晶柔性云母片上采用磁控溅射制备TiN底电极或者采用激光脉冲沉积法制备钙钛矿结构氧化物SRO底电极；2)采用溶胶凝胶法制备氧化铪基铁电薄膜的前驱体溶液，澄清无沉淀，其中，前驱体溶液的浓度为0.01-0.05mol/L；3)柔性铁电薄膜的制备，采用旋涂法在上述SRO或者TiN底电极上旋涂前驱体溶液，得到均匀湿膜；4)将上述制得的均匀湿膜进行干燥、热解、退火处理；5)重复步骤3)-4)若干次即得到目标柔性氧化铪基铁电薄膜。
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