[发明专利]一种掺钾柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及一种掺钾柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法，属于表面工程技术领域。本发明主要是利用离子束硒化磁控溅射一步法实现在较低温度下生成平整、致密、均匀的高质量CIGS吸收层，降低了CIGS吸收层制备温度，并且简化了CIGS吸收层制备工艺；而且在生长CIGS吸收层前，先制备氟化钾预置层，实现对CIGS吸收层进行钾掺杂，有利于改善CIGS吸收层的电学性能，本发明所述方法实现了高转换效率的柔性CIGS太阳能电池的制备。

主权项

1.一种掺钾柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述方法步骤如下：(1)先在基底上制备背电极，再将沉积背电极后的基底置于压强不大于2×10‑3Pa的真空室中，以KaF为蒸发源进行蒸发，在背电极上形成KaF预置层；(2)以CuGa合金靶和In靶为磁控溅射靶、以CuGa合金靶和CuIn合金靶为磁控溅射靶或者以CuInGa合金靶为磁控溅射靶，在沉积KaF预置层后的基底上进行磁控溅射，同时利用离子源产生的Se离子束进行硒化反应，在KaF预置层上形成CIGS中间层；(3)在沉积CIGS中间层后的基底上，依次沉积缓冲层、透明窗口层以及上电极，即得到掺钾柔性CIGS薄膜太阳能电池。