[发明专利]一种改进型全自动半导体材料研磨设备

摘要

本发明公开了一种改进型全自动半导体材料研磨设备，包括固定安装在活动机械手右端面的研磨机架，所述研磨机架内壁体中设置有传动腔以及贯通所述研磨机架下部端面的伸缩腔，所述传动腔与所述伸缩腔之间设置有导向腔，所述伸缩腔顶部的所述研磨机架内壁体中设置有转动腔，所述传动腔顶部左右延伸设置有转动杆，所述转动杆与所述传动腔左右两侧端壁转动配合连接，所述转动杆左侧延伸末端动力配合连接有转动电机，所述转动电机外表面固定安装于所述研磨机架内壁体中，所述转动杆右侧伸入所述转动腔中且末端固定安装有第一锥齿轮；本发明可使研磨转轮对半导体材料进行转动研磨的同时可上下往复摆动进行研磨工作，研磨效率高。

主权项

1.一种改进型全自动半导体材料研磨设备，包括固定安装在活动机械手右端面的研磨机架，其特征在于：所述研磨机架内壁体中设置有传动腔以及贯通所述研磨机架下部端面的伸缩腔，所述传动腔与所述伸缩腔之间设置有导向腔，所述伸缩腔顶部的所述研磨机架内壁体中设置有转动腔，所述传动腔顶部左右延伸设置有转动杆，所述转动杆与所述传动腔左右两侧端壁转动配合连接，所述转动杆左侧延伸末端动力配合连接有转动电机，所述转动电机外表面固定安装于所述研磨机架内壁体中，所述转动杆右侧伸入所述转动腔中且末端固定安装有第一锥齿轮，所述转动腔内壁体中转动配合安装有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮，所述第二锥齿轮底部端面固定安装有与所述研磨机架转动配合连接且伸入所述伸缩腔中的花键轴，所述伸缩腔中滑动配合安装有转动柱，所述转动柱顶部端面内设置有与所述花键轴花键配合连接的花键凹槽，所述转动柱底部端面固定安装有安装套头，所述安装套头底部端面内安装有研磨转轮，所述转动柱右侧端的所述研磨机架内壁体中设置有滑动腔，所述滑动腔中滑动配合安装有滑动板，所述滑动板顶部端面的所述滑动腔中固定安装有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧上端与所述滑动腔内顶壁固定连接，所述滑动板与固定套装在所述转动柱外表面内周向的第一轴承的外圈固定连接，所述第一轴承下侧的所述转动柱外表面内周向固设有第二轴承，所述第二轴承的外圈固定安装有顶压板，所述顶压板向左延伸分别伸入所述导向腔以及传动腔中且滑动配合连接，所述传动腔上下两侧的前后端壁分别转动配合设置有上转销轴和下转销轴，所述上转销轴外表面周向分别固设有前后分布的上传动轮和转动蜗轮，所述下转销轴外表面周向分别固设有前后分布的下传动轮和顶压凸轮，所述转动蜗轮与设置在所述转动杆外表面周向的蜗杆啮合，所述顶压凸轮与所述顶压板上端面相互抵接，所述上传动轮和下传动轮之间上下相对设置且传动配合连接有一传动带，所述研磨机架中还设置有照明装置。