[发明专利]双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统在审

专利信息
申请号: 201711406713.8 申请日: 2017-12-22
公开(公告)号: CN108188931A 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 胡中伟;黄辉;徐西鹏;陈铭欣;谢斌晖;李论 申请(专利权)人: 华侨大学
主分类号: B24B49/00 分类号: B24B49/00;B24B55/00;B24B27/00;B24B37/08
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;秦彦苏
地址: 362000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统,包括主轴、磨盘、至少一个声发射传感器、信号放大器和控制器;磨盘设在主轴;声发射传感器设在磨盘上且与工件相对应;声发射传感器与信号放大器电信号连接,信号放大器与控制器电信号连接;控制器与主轴电信号连接;通过声发射传感器实时采集工件加工过程中工件破碎的音频信号并传输至信号放大器,通过信号放大器将工件破碎的音频信号放大处理并传输至控制器,通过控制器接收工件破碎的音频信号并报警及控制主轴停机,从而实现了对晶片等硬脆性工件破碎的在线检测、报警与停机控制,有效避免了工件破碎导致的爆盘现象,大大提高了加工效率和产品良率,降低了生产成本。
搜索关键词: 破碎 信号放大器 控制器 声发射传感器 电信号连接 磨盘 在线控制系统 行星磨削 研磨加工 音频信号 报警 工件加工过程 音频信号放大 产品良率 加工效率 实时采集 在线检测 主轴停机 传输 硬脆性 晶片 停机 生产成本
【主权项】:
1.一种双面行星磨削/研磨加工中工件破碎的在线控制系统,其特征在于:包括主轴、磨盘、至少一个声发射传感器、信号放大器和控制器;所述磨盘设在主轴;所述声发射传感器设在磨盘上且与工件相对应;所述声发射传感器与信号放大器电信号连接,所述信号放大器与控制器电信号连接;所述控制器与主轴电信号连接;通过声发射传感器实时采集工件加工过程中工件破碎的音频信号并传输至信号放大器,通过信号放大器将工件破碎的音频信号放大处理并传输至控制器,通过控制器接收工件破碎的音频信号并报警及控制主轴停机。
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