[发明专利]影像传感器芯片、影像传感器芯片的制备方法、影像传感器以及生物活体影像监控系统

摘要

本发明提供了一种影像传感器芯片、影像传感器芯片的制备方法、影像传感器以及生物活体影像监控系统。影像传感器芯片，包括芯片层和像敏单元阵列，像敏单元阵列形成于芯片层上且与芯片层电性连接，每个像敏单元包括钼电极，形成于芯片层顶面的绝缘材料层上；p型铜铟镓硒层，形成于钼电极上；缓冲层，形成于铜铟镓硒层上；本征氧化锌i‑ZnO层，形成于缓冲层上；导电透明层，形成于i‑ZnO层上；以及微透镜，形成于导电透明层上；其中，钼电极通过钨通孔与芯片层电性连接。影像传感器芯片、影像传感器以及生物活体影像监控系统，能够在近红外光环境下取影像。可以应用在侦测皮肤底层血管。

主权项

一种影像传感器芯片，包括芯片层和像敏单元阵列，所述像敏单元阵列形成于所述芯片层上且与所述芯片层电性连接，其特征在于，每个所述像敏单元包括：钼电极，形成于芯片层顶面的绝缘材料层上；p型铜铟镓硒层，形成于所述钼电极上；缓冲层，形成于所述铜铟镓硒层上；本征氧化锌i‑ZnO层，形成于所述缓冲层上；导电透明层，形成于所述i‑ZnO层上；以及微透镜，形成于所述导电透明层上；其中，所述钼电极通过钨通孔与所述芯片层电性连接。