[发明专利]LGS声表面波温度传感器的线性温度频率特性测算方法有效
| 申请号： | 201711415634.3 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108151907B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 彭斌;喻恒;张万里;李凌;张文旭 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01K11/26 | 分类号： | G01K11/26;G01K15/00 |
| 代理公司： | 51203 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于声表面波传感器的应用领域，具体为LGS声表面波温度传感器的线性温度频率特性测算方法。本发明首先对LGS声表面波温度传感器进行标定，得到其室温时瑞利波模式频率及体波模式频率f | ||
| 搜索关键词： | 声表面波温度传感器 瑞利波模式 体波 温度频率特性 声表面波传感器 声表面波谐振器 线性温度特性 测算 环境变量 模式频率 温度测试 温度频率 温度系数 谐振频率 原传感器 传统的 复杂度 标定 二阶 一阶 相等 测试 应用 | ||
【主权项】：
1.LGS声表面波温度传感器的线性温度频率特性测算方法，包括以下步骤：/n步骤1、使用一端带有SMA接头的耐同轴线连接LGS声表面波温度传感器与矢量网络分析仪，带有SMA接头的一端连接矢量网络分析仪，将另一端同轴线拨开成两股，分别连接在LGS声表面波温度传感器的两个电极上；调整矢量网络分析，使其包含LGS声表面波温度传感器的瑞利波模式谐振频率点和体波模式谐振频率点；/n步骤2、将步骤1所述LGS声表面波温度传感器和热电偶放入加热炉中，测试并记录热电偶显示不同温度下LGS声表面波温度传感器的两个模式的谐振频率，用获得的温度频率散点进行二次函数拟合，得到瑞利波模式和体波模式的一阶温度系数x
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