[发明专利]一种弧形电极等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

本发明提供一种弧形电极等离子体化学气相沉积装置，能够避免板间电缆与电极的相对滑动，消除了划痕缺陷。该装置的放卷室、镀膜室、收卷室三个腔室相连，形成真空腔体，真空泵与所述真空腔体相连，形成抽气系统；卷绕机构与纠偏机构相连，圆形电极和弧形电极安装在镀膜室内，基底材料紧贴圆形电极表面并与圆形电极同步转动；送气单元、射频功率源与弧形电极相连，送气单元将工作气体送入圆形电极与弧形电极之间，在射频功率源的作用下，在圆形电极和弧形电极之间产生等离子体，基膜紧贴在圆形电极上，通过卷绕机构和纠偏机构控制基膜的运动，在基膜上沉积涂层。

主权项

1.一种弧形电极等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，该装置由放卷室，卷绕机构，离子源，圆形电极，镀膜室，收卷室，纠偏机构，真空系统，弧形电极，送气单元，射频功率源组成；其中，放卷室、镀膜室、收卷室三个腔室相连，形成真空腔体，真空泵与所述真空腔体相连，形成抽气系统；卷绕机构与纠偏机构相连，圆形电极和弧形电极安装在镀膜室内，基底材料紧贴圆形电极表面并与圆形电极同步转动；送气单元将工作气体送入圆形电极与弧形电极之间，在射频功率源的作用下，在圆形电极和弧形电极之间产生等离子体，基膜紧贴在圆形电极上，通过卷绕机构和纠偏机构控制基膜的运动，在基膜上沉积涂层。