[发明专利]一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器有效
| 申请号： | 201711421042.2 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108173451B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 胡院林;王文 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00;F04B43/04;H01L41/047;H01L41/09 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，包括：薄膜压电驱动器、静电驱动器、不可压缩流体、底座、基体、固定壁面等组成。结构的驱动部件为薄膜压电驱动器和静电驱动器。在交变驱动电压信号下，压电驱动器产生周期性驱动力，通过不可压缩流体将此驱动力传递至柔性薄膜，使柔性薄膜获得一定的驱动力；同时柔性薄膜在静电力驱动下向固定壁面贴合，实现静电驱动。以上压电和静电同时进行，通过调节压电驱动器与传递液体的接触面积大于柔性薄膜与液体的接触面积，在一定程度上放大压电薄膜驱动器的驱动力，即可获得较大的驱动力，本发明具有复合驱动结构响应速度快，驱动力高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动力 压电驱动器 柔性薄膜 驱动器 静电驱动 压电 不可压缩流体 静电驱动器 固定壁面 传动 振膜 薄膜 复合驱动结构 驱动电压信号 复合 静电力驱动 驱动力传递 驱动部件 压电薄膜 静电 底座 交变 贴合 放大 传递 响应 | ||
【主权项】：
1.一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器，其特征在于，包括薄膜压电驱动器、静电驱动器、不可压缩流体、底座、基体、固定壁面，其中：所述静电驱动器包括柔性薄膜、固定壁面、固定壁面介电层；所述柔性薄膜上设有薄膜表面电极，所述柔性薄膜的弹性模量＜3GPa，所述柔性薄膜的厚度＜1mm；所述固定壁面上设有进口孔和出口孔；所述薄膜压电驱动器包括：弹性基片、压电陶瓷片和压电陶瓷片表面电极；所述薄膜压电驱动器和所述静电驱动器通过同步的驱动电压信号驱动；所述薄膜压电驱动器与不可压缩流体的接触面积大于所述柔性薄膜与所述不可压缩流体的接触面积。
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