[发明专利]棱镜直角工作面垂直度的检测方法及装置有效
申请号: | 201711423538.3 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN109959350B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 苗亮;马铭泽;马固爽 | 申请(专利权)人: | 长春长光华大智造测序设备有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G01B11/27 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 廖金晖;彭家恩 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种棱镜直角工作面垂直度的检测方法及装置,检测装置包括:放置台,其具有用于放置被检棱镜的放置面,放置台可沿放置面的倾斜方向摆动;测角仪,其测量端面向所述放置台上放置被检棱镜的区域设置。由于放置台具有放置面,并且被检棱镜可旋转,放置台可倾斜摆动,使得放置在放置台上的被检棱镜可将不同的测量面转至与测角仪相对,并放置台通过倾斜摆动可使得被检棱镜的测量面自准直反射测角仪发射的测量光,形成自准直测量,从而通过放置台和测角仪即可精确的检测出被检棱镜直角工作面的垂直度误差,故本检测装置和方法的结构简单、检测方便及检测精度高。 | ||
搜索关键词: | 棱镜 直角 工作面 垂直 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种棱镜直角工作面垂直度的检测装置,其特征在于,包括:放置台,其具有用于放置被检棱镜的放置面,所述放置台可沿所述放置面的倾斜方向摆动;测角仪,其测量端面向所述放置台上放置被检棱镜的区域设置。
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