[发明专利]一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711425048.7 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108123365A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张宇光;胡晓;肖希;冯朋;陈代高;王磊;李淼峰;余少华 | 申请（专利权）人： | 武汉邮电科学研究院 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/20 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 张雯俐 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法，涉及光电子器件技术领域。该激光器包括：增益介质、模斑转换器、对准标记、无温漂的混合集成光波导和无温漂的光学谐振腔；该增益介质通过模斑转换器与无温漂的混合集成光波导相连。其中，无温漂的混合集成光波导包括形成于低折射率衬底上的高折射率材料层和负热光系数材料层，该负热光系数材料层能够对高折射率材料层的正热光系数进行补偿；无温漂的光学谐振腔是基于无温漂的混合集成光波导组成的谐振腔结构，用于实现激光器的输出波长在不同温度下的稳定。本发明能解决硅基片上集成激光器的出射波长随温度变化的问题，且无需增设额外调控器件，使得激光器的功耗低、集成度高、制备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 温漂 激光器 混合集成 光波导 热光系数 制备 高折射率材料层 光学谐振腔 模斑转换器 片上集成 增益介质 材料层 光电子器件 集成激光器 谐振腔结构 低折射率 调控器件 对准标记 输出波长 硅基片 集成度 波长 衬底 出射 功耗 增设 | ||
【主权项】：
一种无温漂的片上集成激光器，包括增益介质和模斑转换器，其特征在于：该片上集成激光器还包括无温漂的混合集成光波导和无温漂的光学谐振腔，所述增益介质通过模斑转换器与无温漂的混合集成光波导相连；所述无温漂的混合集成光波导包括形成于低折射率衬底上的高折射率材料层和负热光系数材料层，所述负热光系数材料层能够对高折射率材料层的正热光系数进行补偿；所述无温漂的光学谐振腔是基于所述无温漂的混合集成光波导组成的谐振腔结构，用于实现片上集成激光器的输出波长在不同温度下的稳定。
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