[发明专利]一种用于高性能声表面波滤波器的谐振器结构设计

摘要

本发明提供了一种用于高性能声表面波滤波器的谐振器结构设计，能够有效地抑制瑞利波和体波引起的杂波响应。此高性能声表面波滤波器的谐振器结构（1）是由单晶Si基板（2），多层薄膜结构（7），YX‑θ LiTaO3压电薄膜（5）以及以Al或Cu电极为主的叉指电极IDT和反射栅（6）等由下至上依次叠加设置构成。所述多层薄膜结构（7）是由高声阻抗薄膜（3）和低声阻抗薄膜（4）交替沉积而成。所述高性能声表面波滤波器的谐振器结构（1）的优化方式如下：所述YX‑θ LiTaO3压电薄膜的欧拉角θ和标准化厚度分别满足如下关系：0≤θ≤60，0.1λ≤hLT≤0.5λ。

主权项

1.一种用于高性能声表面波滤波器的谐振器结构设计，其利用水平剪SH切波，包括：单晶Si基板（2），多层薄膜结构（7），YX-θ LiTaO3压电薄膜（5）以及以Al或Cu电极为主的叉指电极IDT和反射栅（6）等由下至上依次叠加设置构成。所述多层薄膜结构（7）是由高声阻抗薄膜（3）和低声阻抗薄膜（4）交替沉积而成。