[发明专利]一种实现温度和应变测量的光纤F-P传感器制作方法在审
| 申请号： | 201711430003.9 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108195483A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 祝连庆;李达;董明利;娄小平;张雯;何巍;李红 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 顾珊;庞立岩 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种实现温度和应变测量的光纤F‑P传感器制作方法包括：在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI‑1060光纤固定在光纤夹具上；800nm飞秒激光器以划线的方式发射飞秒激光，所述飞秒激光依次穿过所述半波片、偏振片、衰减片和窗口，经所述高反镜反射后由45倍的显微镜聚焦至所述光纤夹具上的HI‑1060光纤，对所述HI‑1060光纤划线刻写；在所述高反镜正上方布置电荷耦合器件，所述电荷耦合器观测激光的聚焦位置和激光对所述夹具上HI‑1060光纤的加工形貌。本发明制作的光纤F‑P传感器具有更高的温度灵敏度和应变灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 夹具 温度和应变 飞秒激光 光纤夹具 高反镜 划线 激光 测量 光纤F-P传感器 电荷耦合器件 三维运动平台 刻写 形貌 传感器制作 电荷耦合器 飞秒激光器 温度灵敏度 应变灵敏度 固定光纤 光纤固定 聚焦位置 半波片 偏振片 衰减片 传感器 显微镜 去除 反射 制作 观测 聚焦 穿过 发射 加工 | ||
【主权项】：
1.一种实现温度和应变测量的光纤F‑P传感器制作方法，其特征在于，所述方法包括：在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI‑1060光纤固定在所述光纤夹具上；在所述光纤夹具正上方布置高反镜，在所述高反镜前端依次布置800nm飞秒激光器、半波片、偏振片、衰减片和用于激光穿过的窗口，所述800nm飞秒激光器以划线的方式发射飞秒激光，所述飞秒激光依次穿过所述半波片、偏振片、衰减片和窗口，经所述高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI‑1060光纤，对所述HI‑1060光纤划线刻写，得到刻写长度为25μm，腔长为80μm的光纤F‑P传感器；在所述高反镜正上方布置电荷耦合器件，所述电荷耦合器观测激光的聚焦位置和激光对所述夹具上HI‑1060光纤的加工形貌。
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