[发明专利]一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法在审
| 申请号： | 201711430683.4 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108225416A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 祝连庆;李达;张雯;何巍;董明利;娄小平;李红 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 | 代理人： | 顾珊;庞立岩 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法包括：a)搭建加工平台，加工平台包括800nm飞秒激光器、高精度三维运动平台、聚焦物镜和高反镜；b)在高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI‑1060光纤固定在光纤夹具上；飞秒激光依次穿过半波片、偏振片、衰减片和窗口，经高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI‑1060光纤，对HI‑1060光纤划线刻写，得到光栅周期为400um的长周期光纤光栅；c)重复步骤c)制作腔长为20um的光纤F‑P传感器；d)将步骤b)中制作得到长周期光纤光栅与步骤c)中制作得到光纤F‑P传感器通过级联的方式组成多参数传感器。本发明制作的多参数传感器实现同时测量温度、应变和折射率，并保证了测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 多参数传感器 制作 光纤 长周期光纤光栅 三维运动平台 多参数测量 光纤夹具 加工平台 高反镜 传感器 测量 夹具 刻写 飞秒激光器 飞秒激光 固定光纤 光纤固定 光栅周期 聚焦物镜 显微物镜 半波片 偏振片 衰减片 折射率 级联 腔长 反射 划线 去除 聚焦 穿过 重复 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于多参数测量的多参数传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：a)搭建加工平台，所述加工平台包括800nm飞秒激光器、高精度三维运动平台、聚焦物镜和高反镜；b)在所述高精度三维运动平台上固定光纤夹具，将去除涂层的HI‑1060光纤固定在所述光纤夹具上；在所述光纤夹具正上方布置所述高反镜，在所述高反镜前端依次布置所述800nm飞秒激光器、半波片、偏振片、衰减片和用于激光穿过的窗口，所述800nm飞秒激光器以划线的方式发射飞秒激光，所述飞秒激光依次穿过所述半波片、偏振片、衰减片和窗口，经所述高反镜反射后由45倍的显微物镜聚焦至所述光纤夹具上的HI‑1060光纤，对所述HI‑1060光纤划线刻写，得到光栅周期为400um的长周期光纤光栅；c)重复步骤c)制作腔长为20um的光纤F‑P传感器；d)将步骤b)中制作得到长周期光纤光栅与步骤c)中制作得到光纤F‑P传感器之间熔接隔离器，通过级联的方式组成多参数传感器。
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