[发明专利]用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置及其提纯方法

摘要

本发明公开了一种用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置，该氘气提纯装置包括氘气进入系统，氘气抽出系统和真空机组，氘气进入系统包括氘气源、靶室外进气管道、双向截止阀I、双向截止阀Ⅱ、靶室内通气管道、靶体，氘气抽出系统包括靶室内通气管道、双向截止阀Ⅲ、靶室外抽气管道，真空机组包括外壳，外壳中设有上层腔室和下层腔室，在下层腔室中设有机械泵、上层腔室中设有分子泵，外壳上端面上设有真空腔，本发明完成一次置换过程(1次充气和抽气)一般可控制在10分钟内，根据实际需要还可以降低，本发明可以将氘气总体置换时间(6‑7次的充气和抽气)控制在1小时以内，从时间上看，大大降低了实验成本。

主权项

1.一种用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置，其特征在于，该氘气提纯装置包括氘气进入系统，氘气抽出系统和真空机组，所述氘气进入系统包括氘气源(1)、靶室外进气管道(2)、双向截止阀I(3)、双向截止阀Ⅱ(4)、靶室通气管道(5)、靶体(6)，所述氘气源(1)与靶室外进气管道(2)相连，在所述靶室外进气管道(2)上设有双向截止阀I(3)和实时压力表，所述靶室外进气管道(2)通过双向截止阀Ⅱ(4)与靶室通气管道(5)相连，靶室通气管道(5)与靶体(6)相连，双向截止阀Ⅱ(4)上装有质量流量计，所述氘气抽出系统包括靶室通气管道(5)、双向截止阀Ⅲ(7)、靶室外抽气管道(8)，所述靶室外抽气管道(8)通过双向截止阀Ⅲ(7)与靶室通气管道(5)相连，所述靶室外抽气管道(8)设有双向截止阀Ⅳ(9)，所述真空机组包括外壳(10)，所述外壳(10)中设有上层腔室(11)和下层腔室(12)，在下层腔室(12)中设有机械泵(13)、上层腔室(11)中设有分子泵(14)，外壳(10)上端面上设有真空腔(15)，真空腔(15)上设有上端口(151)、下端口(152)、左端口(153)、右端口(154)、前端口(155)、后端口(156)，所述上端口(151)与靶室外抽气管道(8)相连，下端口(152)通过闸板阀(16)与分子泵(14)相连，所述分子泵(14)与机械泵(13)相连，形成主抽回路，在预抽气管道(17)上设有双向截止阀Ⅴ(18)，当关闭闸板阀(16)，打开双向截止阀Ⅳ(9)和双向截止阀Ⅴ(18)时，左端口(153)与机械泵(13)之间通过预抽气管道(17)相连形成预抽气回路，前端口(155)与低真空规管相连，后端口(156)与高真空规管相连。