[发明专利]结晶硅制造设备用的搬运设备

摘要

本发明提供一种结晶硅制造设备用的搬运设备，以减轻多结晶硅体至纵断加工为止的作业员的负担。一种结晶硅制造设备用的搬运设备，位于直线状的移动路径L的一侧部分L1的一侧空间Z1，以及位于另一侧部分L2的另一侧空间Z2，由形成有通过用开口4让搬运车1由通过的分隔壁3分隔且互相邻接般配置，铸造多结晶硅体的多个多结晶炉R沿着一侧部分L1被设置，将多结晶炉R所铸造的多结晶硅体进行纵断加工的多个加工机K沿着另一侧部分L2被设置，自由搬运多结晶硅体的搬运车1通过分隔壁3搬运多结晶硅体般被构成。

主权项

1.一种结晶硅制造设备用的搬运设备，是沿着被设定为经由制造结晶硅体的多个结晶炉状态的移动路径自由移动，且在该搬运设备中设有可自由搬运该多个结晶炉所制造的结晶硅体的搬运车，其中；该多个结晶炉为铸造多结晶硅体的多结晶炉；该移动路径被设定为直线状；位于该移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间以及位于该移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间是被分隔板所分隔且互相邻接而被配置，其中该分隔板形成有可让该搬运车自由通过的通过用开口；该多个多结晶炉沿着该一侧空间中的该移动路径而被设置；将该多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体纵断加工成角柱状的多个加工机，沿着该另一侧空间中的该移动路径的另一侧部分而被设置；以及该搬运车可将该多结晶炉所铸造的该多结晶硅体通过该分隔板，并从该多结晶炉自由搬运至该多个加工机。