[发明专利]一种真空手套箱及用于量子腔阳极键合方法有效
| 申请号： | 201711434306.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN107914295B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张振伟;陈星;杨仁福 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02;C03C27/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 付生辉 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空手套箱及量子腔阳极键合的方法，包括真空泵，还包括：第一箱体；与所述第一箱体对应的第二箱体；连通所述第一箱体和第二箱体的第一过渡仓；以及固定于所述第二箱体上并与第二箱体连通的第二过渡仓；所述第一过渡仓和第二过渡仓的两端分别设置阀门，所述真空泵连通阀门隔开的每个容腔上，所述阀门依次开启使制作的产品在真空中运输和制作。本发明提供一种真空手套箱及用于量子腔阳极键合的方法，具有如下效果：实现了两个箱体的环境隔离、第二箱体与外界空气的有效隔离；避免了硅片、玻璃片以及反应物质受到粉尘和水氧的污染，保证了量子腔的阳极键合强度和反应物质的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 手套 用于 量子 阳极 方法 | ||
【主权项】：
一种真空手套箱，包括真空泵，其特征在于，包括：第一箱体；与所述第一箱体对应的第二箱体；连通所述第一箱体和第二箱体的第一过渡仓；以及固定于所述第二箱体上并与第二箱体连通的第二过渡仓；所述第一过渡仓和第二过渡仓的两端分别设置阀门，并且设置真空泵连通阀门隔开的每个容腔上，所述阀门依次开启使制作的产品在真空中运输和制作。
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