[发明专利]物镜数值孔径的检测方法及装置有效
| 申请号： | 201711437047.4 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109959342B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 苗亮;孙志远;马铭泽;马固爽 | 申请（专利权）人： | 长春长光华大智造测序设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/12 | 分类号： | G01B11/12 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 廖金晖;彭家恩 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种物镜数值孔径的检测方法及装置，其中检测装置，包括波像差探测器和反射镜，波像差探测器具有用于发射和接收测量光的收发端，反射镜具有用于反射测量光的凹球反射面，波像差探测器的收发端和反射镜的凹球反射面相对设置，并在两者之间设有用于放置被测物镜的空间；反射镜可沿光轴移动的设置，用于移动至与被测物镜的共焦和离焦位置反射测量光至被测物镜。由于波像差探测器能够通过发射和接收反射的双程测量光检测出被测物镜的波像差，使得本检测装置通过双程波像差能够更高精度的检测出被测物镜的数值孔径，并适用于检测干式物镜和浸泡物镜的数值孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 数值孔径 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种物镜数值孔径的检测装置，其特征在于，包括波像差探测器和反射镜，所述波像差探测器具有用于发射和接收测量光的收发端，所述反射镜具有用于反射测量光的凹球反射面，所述波像差探测器的收发端和所述反射镜的凹球反射面相对设置，并在两者之间设有用于放置被测物镜的空间；所述反射镜可沿光轴移动的设置，用于移动至与被测物镜的共焦和离焦位置反射测量光至被测物镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春长光华大智造测序设备有限公司，未经长春长光华大智造测序设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711437047.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
