[发明专利]晶圆转移装置及晶圆清洗装置

摘要

本发明提供了一种晶圆转移装置及晶圆清洗装置，属于传输设备领域。该晶圆转移装置包括横梁、水平移动装置、竖直移动装置及拾取装置，横梁设置在水平移动装置上，水平移动装置用于使横梁在水平方向上移动；竖直移动装置设置在横梁上，竖直移动装置用于使拾取装置在竖直方向上移动；拾取装置与竖直移动装置的数量均为n个，n个拾取装置一一对应安装在n个竖直移动装置上，n为大于等于2的整数；横梁上设置有n个或n‑1个第三移动装置，每个第三移动装置用于驱动一个拾取装置在水平方向上产生位移。该晶圆清洗装置包括上述晶圆转移装置及清洗槽，晶圆转移装置用于将晶圆转移到清洗槽里。可以看出，本发明减小了整体占位尺寸、降低了电气控制难度。

主权项

一种晶圆转移装置，包括横梁、水平移动装置、竖直移动装置及拾取装置，其特征在于，所述横梁设置在所述水平移动装置上，所述水平移动装置用于使所述横梁在水平方向上移动；所述竖直移动装置设置在所述横梁上，所述竖直移动装置用于使所述拾取装置在竖直方向上移动；所述拾取装置与所述竖直移动装置的数量均为n个，n个所述拾取装置一一对应安装在n个所述竖直移动装置上，n为大于等于2的整数；所述横梁上设置有n个或n‑1个第三移动装置，每个所述第三移动装置用于驱动一个所述拾取装置在水平方向上产生位移。