[发明专利]一种用于栅控脉冲行波管电子枪中的栅网及其制作工艺有效
| 申请号： | 201711439142.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109961994B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 吕琴丽;李帅;王树茂 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01J23/06 | 分类号： | H01J23/06;H01J9/14 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于栅控脉冲行波管电子枪中的栅网及其制作工艺。该栅网包括钼材质的栅网基底、形成在栅网基底上的梯度功能层、及形成在梯度功能层上的复合抗栅电子发射膜；其中梯度功能层采用Nb或Ta制备而成，复合抗栅电子发射膜采用逸出功大于4eV的高熔点材料制备而成。其制作工艺包括以下步骤：(1)将加工成形的钼材质的栅网基底于700‑1000℃进行高温真空除气；(2)采用离子注入和真空沉积镀膜法在栅网基底上制备梯度功能层；(3)采用离子注入和真空沉积镀膜法在梯度功能层上制备复合抗栅电子发射膜；(4)对所制成的栅网进行高温热处理。本发明的栅网能够抑制栅控脉冲行波管栅电子发射，提高栅控脉冲行波管的工作可靠性和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 脉冲 行波 电子枪 中的 及其 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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