[发明专利]一种铝/氧化铝复合阻氢涂层在审
申请号: | 201711439307.1 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN109957756A | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 李帅;何迪;张华;吕琴丽;王树茂;刘晓鹏;蒋利军 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种铝/氧化铝复合阻氢涂层,该阻氢涂层为形成在金属基体上的组成为x Al‑(1‑x)Al2O3的单层涂层,其中0<x<1。所述金属基体材质为奥氏体不锈钢或马氏体不锈钢。该阻氢涂层采用物理气相沉积法制备,优选采用磁控溅射法制备,通过同时溅射铝靶和氧化铝靶而获得所述阻氢涂层。本发明的铝/氧化铝复合阻氢涂层与金属基体的结合为金属‑金属结合,其结合强度高;较金属铝层热膨胀系数更低,降低了与表层氧化铝薄膜之间的热膨胀失配,提高了阻氢涂层的抗冷热冲击性能;在表面氧化铝薄膜破损情况下,可原位生成新的氧化铝膜层。 | ||
搜索关键词: | 金属基体 氧化铝 复合 热膨胀 抗冷热冲击性能 奥氏体不锈钢 马氏体不锈钢 物理气相沉积 表面氧化铝 热膨胀系数 氧化铝薄膜 氧化铝膜层 磁控溅射 单层涂层 金属结合 金属铝层 氧化铝靶 原位生成 溅射 铝靶 失配 优选 薄膜 破损 金属 | ||
【主权项】:
1.一种铝/氧化铝复合阻氢涂层,其特征在于,该阻氢涂层为形成在金属基体上的组成为xAl‑(1‑x)Al2O3的单层涂层,其中0<x<1。
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