[发明专利]一种含氟清洗液有效
| 申请号： | 201711439626.2 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109971565B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 何春阳;赵鹏;刘兵 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/08 | 分类号： | C11D7/08;C11D7/10;C11D7/32;C11D7/26;C11D7/50;C11D7/60 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;沈汶波 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种含氟清洗液，其含有：氟化物、有机胺、有机溶剂、水和含氮杂环物及其聚合物。本发明的清洗液清洗能力强，可有效去除半导体制程过程中等离子刻蚀残留物，尤其是在铜马士革工艺中灰化后的残留物，并且在高转速单片机清洗中对非金属材料(如氮氧化硅)和金属材料(如Cu)等有较小的腐蚀速率，有效的解决了传统氮唑类腐蚀抑制剂控制金属表面腐蚀的吸附问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种含氟清洗液，其特征在于，包括，氟化物、有机胺、含氮杂环物及其聚合物、有机溶剂、以及水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安集微电子（上海）有限公司，未经安集微电子（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711439626.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可定量投放的天然立体洗衣块及其制备方法
- 下一篇：一种环保型清洗剂
