[发明专利]一种阵列基板及制备方法

摘要

本发明提供了一种阵列基板，包括薄膜晶体管，薄膜晶体管包括基板、第一栅极、第一绝缘层、有源层、源极、漏极、第二绝缘层、第三绝缘层、第二栅极；第一栅极设置于基板上，第一绝缘层设置于第一栅极上并延伸至基板上，有源层设置于第一绝缘层上，有源层与第一栅极重叠，设置于有源层上相对两端的源极和漏极与有源层形成一沟道区，第二绝缘层、第三绝缘层和第二栅极依次设置于沟道区内，第一栅极、第三绝缘层与第二栅极的正投影重合，第二绝缘层的边缘与源极和漏极之间的距离小于第三绝缘层的边缘与源极和漏极之间的距离。利用本发明提供的薄膜晶体管，不仅可以有效地阻止寄生电容的产生，还可以防止电阻的产生，极大地提高了薄膜晶体管的性能。

主权项

一种阵列基板，包括薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括基板、第一栅极、第一绝缘层、有源层、源极、漏极、第二绝缘层、第三绝缘层、第二栅极；所述第一栅极设置于所述基板上，所述第一绝缘层设置于所述第一栅极上并延伸至所述基板上，所述有源层设置于所述第一绝缘层上，所述有源层与所述第一栅极重叠，设置于所述有源层上相对两端的所述源极和所述漏极与所述有源层形成一沟道区，所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和所述第二栅极依次设置于所述沟道区内，所述第一栅极、所述第三绝缘层与所述第二栅极的正投影重合，所述第二绝缘层的边缘与所述源极和所述漏极之间的距离小于所述第三绝缘层的边缘与所述源极和所述漏极之间的距离。