[发明专利]一种光斑均匀度测量系统及其控制方法

摘要

本发明公开一种光斑均匀度测量系统及其控制方法，通过对二维移动的移动平台的位置调节，来实现将大面积光斑性能参数的逐行扫描采集处理，由计算机计算出激光光束的光斑均匀度并显示。实现了测量大面积激光光束的光斑均匀度的目的。 1

主权项

1.一种光斑均匀度测量系统，其特征在于，包括：光功率测量模块、移动平台、数据采集卡和计算机；

在所述移动平台表面安装所述光功率测量模块，所述数据采集卡分别连接所述光功率测量模块和所述计算机，

所述移动平台，用于在平面内移动；

所述光功率测量模块，用于测量接收到的光束的功率；

所述数据采集卡，用于将所述光功率测量模块测量的数据发送至所述计算机；

所述计算机，用于根据接收到的数据进行计算得到光斑均匀度并进行显示。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

可变光阑，用于控制所述光功率测量模块接收到的光束的大小。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

分别连接所述计算机和所述可变光阑的自动控制机构；

所述自动控制机构，用于根据所述计算机的光圈调节控制指令对所述可变光阑的光圈大小进行调节。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

分别连接所述计算机和所述移动平台的移动控制机构；

所述移动控制机构，用于根据所述计算机的移动控制指令，控制所述移动平台在平面内移动。

5.一种控制方法，其特征在于，基于权利要求1所述的系统，所述方法包括：

控制所述移动平台在平面内移动，使得所述光功率测量模块测得待测光束范围内的多个待测子范围的各个光束功率；

所述计算机接收所述光功率测量模块测得的所有光束功率；

所述计算机从所述所有光束功率中选取最大光束功率和最小光束功率；

所述计算机根据光斑均匀度公式计算得到所述待测光束范围的光斑均匀度，所述光斑均匀度公式为：

光斑均匀度＝1‑(最大光束功率‑最小光束功率)/(最大光束功率+最小光束功率)。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述计算机从所述所有光束功率中选取最大光束功率和最小光束功率步骤前，还包括：

所述计算机从所述所有光束功率中，识别异常数据并删除。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述识别异常数据，具体为：

判断所述所有光束功率中最大光束功率减去第二大光束功率的差值是否大于第一异常阈值，若是则确定所述最大光束功率为异常数据；

和/或，

判断所述所有光束功率中第二小光束功率减去最小光束功率的差值是否大于第二异常阈值，若是则确定所述最小光束功率为异常数据。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述识别异常数据，具体为：

确定所述所有光束功率中最大光束功率和/或最小光束功率为异常数据。

9.根据权利要求5～8任意一项所述的方法，其特征在于，所述系统还包括可变光阑，以及分别连接所述计算机和所述可变光阑的自动控制机构；

在所述控制所述移动平台在平面内移动步骤前，还包括：

所述计算机根据待测光束范围的功率和所述光功率测量模块的测量阈值，计算得到所述可变光阑的光圈目标值；

所述计算机发送包含所述光圈目标值的光圈调节控制指令至所述自动控制机构；

所述自动控制机构控制所述可变光阑的光圈大小为所述光圈目标值。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述系统还包括分别连接所述计算机和所述移动平台的移动控制机构；

所述控制所述移动平台在平面内移动，使得所述光功率测量模块测得待测光束范围内的多个待测子范围的各个光束功率，具体包括：

所述计算机发送移动控制指令至所述移动控制机构，以控制所述移动平台在平面内移动，使得所述光功率测量模块测得待测光束范围内的多个待测子范围的各个光束功率。