[发明专利]用探头步进扫描实现ArF准分子激光光强均匀性检测的方法有效
| 申请号： | 201711444278.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108181791B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 曹益平 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是光学投影曝光光刻及设计或调试中采用探头步进扫描法实现对ArF准分子激光光强的均匀性分布情况的检测。由于每次检测的准分子激光光强空间分布不可以避免要受到激光脉冲时间不均匀性影响，因此在时序逻辑的控制下，在一定时间内同时测量一定数目的激光脉冲的总能量和扫描光场中各探测点的分能量，以分能量与总能量之比来衡量光强的均匀性分布情况。本发明具有检测精度高，检测参数可调，可满足不同精度要求的检测要求，实现脉冲激光光强均匀性检测，同时可用于需要对脉冲激光光强分布均匀性检测的其他领域。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 光强 均匀性分布 脉冲激光光 步进扫描 激光脉冲 总能量 探头 分布均匀性检测 光强均匀性 均匀性检测 准分子激光 不均匀性 光学投影 检测参数 精度要求 空间分布 时序逻辑 曝光光 扫描光 探测点 可调 可用 调试 测量 衡量 | ||
【主权项】：
1.一种适用于光学投影曝光光刻中用探头步进扫描对ArF准分子激光光强均匀性检测的方法，其特征在于，应用脉冲检测装置获取激光脉冲作为计数对象和计数触发信号，在同步时序逻辑的控制下，在一定时间内同时测量一定数目的激光脉冲的总能量和步进扫描光场中各探测点的分能量，计算分能量与总能量之比，以此来消除激光脉冲的时间不均匀性对光强的空间分布均匀性的测量结果的影响。
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