[发明专利]基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法有效
| 申请号： | 201711445483.6 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108278980B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 刘玉生;王志乾;刘畅;蔡盛;苏宛新;刘绍锦;李建荣;于帅北 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置及方法，装置包括基准发射光管和测量光管两个部件；以光纤耦合激光器A(1)作为点光源，经过扭转敏感组件A(2)上的偏振片(13)，形成线偏振光，经准直物镜(3)后成为平行光，照射到测量光管；测量光管经接收物镜(4)接收线偏振平行光，通过压电偏摆台(5)使扭转敏感组件B(6)的偏振片产生角运动，当扭转敏感组件B(6)的偏振片与线偏振平行光偏振方向一致时，检偏PSD探测器(11)电流输出最大，扭转敏感组件B(6)的偏振片的偏摆角即为扭转角。本发明是一种将精简的光机结构和高灵敏度电子学系统结合，完成扭转角度快速、高精度测量的装置与方法。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感组件 偏振片 扭转 测量光 扭转角 偏摆台 平行光 压电 动态测量装置 光纤耦合激光器 偏振方向一致 电子学系统 高精度测量 电流输出 高灵敏度 光机结构 接收物镜 线偏振光 准直物镜 点光源 发射光 角运动 接收线 偏摆角 线偏振 检偏 偏振 照射 | ||
【主权项】：
1.一种基于压电偏摆台的扭转角动态测量装置，其特征在于，包括基准发射光管和测量光管；/n所述基准发射光管包括壳体、光纤耦合激光器A(1)、扭转敏感组件A(2)、准直物镜(3)，光纤耦合激光器A(1)作为点光源，发出的激光经过扭转敏感组件A(2)上的偏振片A(13)，形成一束线偏振光，经准直物镜(3)后成为线偏振平行光，照射到测量光管；/n所述测量光管包括壳体、接收物镜(4)，压电偏摆台(5)、扭转敏感组件B(6)、检偏PSD探测器(11)，所述测量光管经所述接收物镜(4)接收线偏振平行光，通过所述压电偏摆台(5)使所述扭转敏感组件B(6)的偏振片B(131)产生角运动，使得所述扭转敏感组件B(6)的偏振片B(131)与线偏振平行光偏振方向一致时，所述检偏PSD探测器(11)电流输出最大，此时，所述扭转敏感组件B(6)的偏振片B(131)的偏摆角即为扭转角；/n还包括自准直测量组件，所述自准直测量组件包括：分光棱镜(7)、测角准直镜(8)、测角PSD探测器(9)、光纤耦合激光器B(10)组成了单独的自准直测量组件，所述自准直测量组件用于测量扭转敏感组件B(6)中的自准直反射镜(151)的偏转角度，所述光纤耦合激光器B(10)发出的激光经分光棱镜(7)折转再经过测角准直镜(8)后成为一束平行光，照射到自准直反射镜(151)上，再经测角准直镜(8)回到测角PSD探测器(9)上。/n
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