[发明专利]一种射频感应耦合等离子体中和器在审
| 申请号： | 201711446538.5 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109979794A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈庆川;聂军伟;黄琪;石连天 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种射频感应耦合等离子体中和器。本发明包括用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔、高压绝缘气路装置、射频耦合天线、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极、屏蔽外壳和用于从等离子体放电腔中抽取电子束的阳极，该射频感应耦合等离子体中和器结构一方面可有效屏蔽射频耦合天线和放电等离子体间的容性耦合，降低射频容性耦合效应对等离子体放电腔内壁的溅射，减少放电等离子体中的杂质污染，同时也可有效减少射频感应耦合等离子体中和器陶瓷绝缘件上的污染，提高射频感应耦合等离子体中和器的寿命和稳定性，具有结构简单、无电极污染、引出电子束洁净、寿命长、工作稳定、束流强度及能量易控等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 射频感应耦合等离子体 中和器 等离子体放电腔 放电等离子体 容性耦合 电子束 射频耦合 射频 天线 低温等离子体技术 阴极 陶瓷绝缘件 阳极 高压绝缘 工作稳定 屏蔽外壳 气路装置 有效减少 有效屏蔽 杂质污染 无电极 屏蔽 溅射 内壁 束流 污染 离子 抽取 洁净 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种射频感应耦合等离子体中和器，包括：用于容纳放电等离子体的等离子体放电腔(1)、高压绝缘气路装置(2)、射频耦合天线(4)、用于收集离子和屏蔽射频容性耦合的阴极(3)、屏蔽外壳(10)和用于从等离子体放电腔(1)中抽取电子束的阳极(7)，其特征在于：所述等离子体放电腔(1)为中空结构，其上端设有进气孔，下端设有电子束引出孔，等离子体放电腔(1)安装在屏蔽外壳(10)内部，屏蔽外壳(10)内部中间位置固定安装有固定法兰(12),等离子体放电腔(1)安装在固定法兰(12)上；等离子体放电腔(1)上端设有气体入口，下端设有电子束引出口，屏蔽外壳(10)上端设置有气体入口，位置和等离子放电腔上端的气体入口位置对应，屏蔽外壳(10)上端气体入口和等离子放电腔1上端进气孔之间设置有气路，屏蔽外壳(10)上端气体入口和等离子放电腔1上端进气孔之间的部分的气路上装有高压绝缘气路装置(2)；圆柱形陶瓷等离子放电腔(1)外壁加工有螺旋形槽，用于安装射频耦合天线(4)，同时也提高了射频耦合天线(4)每匝间的绝缘强度，在等离子放电腔(1)外壁下端的环形槽处设置有引线管路，引线管路穿过固定法兰(12)后再穿过屏蔽外壳(10)，使得射频电源(6)通过匹配网络(5)与射频耦合天线(4)相连；阴极(3)位于等离子体放电腔(1)内部，在横切射频耦合天线(4)卷绕方向上有一个窄缝，阴极(3)窄缝处设有放电触发针(11)，；等离子放电腔(1)内阴极(3)和位于等离子放电腔(1)下端的阳极构成射频感应耦合等离子体中和器电子束的引出系统，阳极(7)上开有引出孔，且该引出孔与等离子体放电腔(1)下端引出孔对正，其中阳极(7)和阴极(3)之间通过阳极电源(8)施加正偏压，阴极(3)和地之间通过阴极电源(9)施加负偏压。
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