[发明专利]X射线荧光光谱仪的分光光路自动调试与校正系统及方法

摘要

本发明涉及一种用于顺序式波长色散X射线荧光光谱仪的分光光路自动调试与校正系统及方法。系统包括操作界面模块、晶体架控制模块、测角仪θ轴与2θ轴高精度步进电机控制模块、探测器数据采集模块、数据图像处理模块；系统选择被测元素谱线作为标定测角仪的基准谱线，通过布拉格方程计算出晶体掠射角与探测器出射角，将测角仪的θ轴与2θ轴旋转到指定位置，通过控制安装在θ轴与2θ轴的步进电机、晶体架、探测器实现对晶体与探测器位置的自动调整，获得晶体校正因子，从而对晶体掠射角与探测器出射角进行校正。本发明实现对分光光路的远程自动调试，保护调试人员免受X射线辐射，减少对调试人员调试经验的依赖，提高调试效率与精度。

主权项

一种X射线荧光光谱仪的分光光路自动调试与校正系统，所述X射线荧光光谱仪为顺序式波长色散X射线荧光光谱仪，包括探测器(6)、测角仪、晶体架和多个分光用晶体，测角仪的θ轴与2θ轴分别搭载选定的晶体和探测器，其特征在于：该系统包括：操作界面模块(1)、晶体架控制模块(2)、测角仪θ轴与2θ轴高精度步进电机控制模块(3)、探测器数据采集模块(4)和数据图象处理模块(5)；所述晶体架控制模块(2)将选定的晶体切换到分光光路中；用户通过操作界面模块(1)设置测角仪θ轴与2θ轴的扫描范围以及扫描间隔与探测器采集时间；所述测角仪θ轴与2θ轴高精度步进电机控制模块(3)调整所述θ轴与2θ轴、根据扫描范围依次将晶体与探测器旋转到指定位置；所述探测器数据采集模块(4)对该指定位置的X射线强度进行采集，并将采集信息送入所述数据图象处理模块(5)进行处理，最终建立直观立体的三维数据模型，计算出对应的校正因子，并将信息回传至作界面模块(1)进行显示。