[发明专利]一种中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构

摘要

本发明涉及拉曼光谱仪领域，具体公开一种中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构。发明采用两个所述中阶梯光栅(或一个所述中阶梯光栅和一个所述平面反射镜)产生空间外差干涉作用来实现空间外差型拉曼光谱测量，从而避免了传统傅里叶变换拉曼光谱仪中一般存在运动部件导致的测量效率低、分辨率低和视场展宽角度小的问题；所述中阶梯光栅的使用级次N大于1，在保持本发明所述光路的拉曼光谱总测量波段范围不变的情况下，所述中阶梯光栅的使用级次N越多，则本发明的光路结构的拉曼光谱分辨率越高,且既可以测量样品的背向散射拉曼光谱，也可以测量样品的透射拉曼光谱。

主权项

1.一种中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构，其特征在于，包括：激光窄带通滤光片、二向色镜、准直镜组、干涉仪组件、色散棱镜、成像镜组以及面阵探测器，所述准直镜组位于所述二向色镜的前方，所述激光窄带通滤光片位于所述二向色镜的上方；所述干涉仪组件包括一个分束镜和两个干涉臂，两个所述干涉臂分别位于所述分束镜的后方、上方，两个所述干涉臂包括两个视场棱镜以及至少一个中阶梯光栅，所述中阶梯光栅的刻线方向与Z轴平行；所述色散棱镜位于所述分束镜的下方，所述色散棱镜用于将所述中阶梯光栅的不同衍射级次的拉曼光同时色散在所述面阵探测器的不同位置，所述中阶梯光栅的使用级次N大于1，总测量的波段范围为所述中阶梯光栅的使用级次N和所述中阶梯光栅的每个级次的测量波段范围的乘积；一激光器发出的激光首先经过所述激光窄带通滤光片，再经由所述二向色镜反射后，经过所述准直镜组聚焦到一被测物体上；被测物体发出的光返回经过所述准直镜组准直后变成平行光，进入所述干涉仪组件，平行光先经过所述分束镜被分成互相垂直的两束平行光，再经过两个所述干涉臂并返回，然后互相垂直的两束平行光再经过所述分束镜合束后形成空间外差干涉光，空间外差干涉光入射至所述色散棱镜和所述成像镜组，再由所述面阵探测器对空间外差干涉光进行探测。