[发明专利]一种高精度角度测量装置及方法

摘要

本发明提出一种高精度角度测量装置及方法，激光光源经扩束镜和衰减片后成为扩束平行激光；扩束平行激光经过第一分束镜、反射镜、第三分束镜、第四分束镜，形成第一参考光束；扩束平行激光经过第一分束镜、第二分束镜、第三分束镜、第四分束镜，形成第二参考光束；扩束平行激光经过第一分束镜、第二分束镜、待测反射镜、第四分束镜，形成待测光束；第一参考光束、第二参考光束、待测光束在CCD相机像面上相干叠加产生干涉图，并输入图像处理系统。本发明通过测量激光干涉光斑的位置信息，并将位置信息进行线性拟合，通过计算直线距离的变化量，计算出入射激光的角度变化。在相同测量精度下，该方法避免了对距离的苛刻要求，为高精度角度测量设备小型化提供一种方法。

主权项

1.一种高精度角度测量装置，其特征在于：包括激光光源、扩束镜、衰减片、分束镜、反射镜、待测反射镜、CCD相机与图像处理系统；激光光源经扩束镜和衰减片后成为扩束平行激光；扩束平行激光经过第一分束镜、反射镜、第三分束镜、第四分束镜，形成第一参考光束；扩束平行激光经过第一分束镜、第二分束镜、第三分束镜、第四分束镜，形成第二参考光束；扩束平行激光经过第一分束镜、第二分束镜、待测反射镜、第四分束镜，形成待测光束；在测量过程的一个阶段，第一参考光束、第二参考光束、待测光束在CCD相机像面上相干叠加产生干涉图，并输入图像处理系统；在测量过程的另一阶段，第一参考光束或第二参考光束与待测光束在CCD相机像面上相干叠加产生干涉图，并输入图像处理系统。