[发明专利]一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法

摘要

本发明属于低温等离子体材料表面处理技术，具体为一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法，工件表面清洗除气之后，再进行等离子体清洗，依次沉积金属中间层、金属碳化物中间层和类金刚石涂层，类金刚石涂层分18层依次沉积，沉积方式为磁控溅射，金属磁控靶材为钛、铬、钨和钼金属靶材，通过本方法制备的类金刚石涂层致密、摩擦系数低、耐腐蚀性能优异、膜基结合强度高，厚度大于100μm，适合高精度抛光等光学元件部件。

主权项

1.一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1)工件表面清洗；2)真空烘烤除气；工件放置在真空室中，在真空度达到1.0×10^‑2Pa的环境下，对工件烘烤除气；3)等离子体清洗；4)沉积金属中间层；5)沉积金属碳化物中间层；6)沉积类金刚石涂层；分18层依次沉积，真空室内通入氢气、乙炔、氩气混合气体作为工作气体；7)工件冷却后取出工件。