[发明专利]一种低掺杂金属纳米类金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201711452193.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109972101A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 唐德礼;杨发展;许传凯;张异华;林剑冰;金凡亚 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司;路达（厦门）工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/46;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于低温等离子体材料处理技术领域，具体为一种低掺杂金属纳米类金刚石涂层的制备方法，工件表面清洗之后，将工件安装到真空室工件架固定夹具上，进行真空烘烤除气和等离子体清洗，之后依次沉积金属中间层、金属碳化物中间层和类金刚石涂层，该类金刚石涂层颗粒尺寸小于100nm，金属元素百分比含量低于10％，表面颜色均匀，特别是能够获得高黑度涂层，同时涂层表面均匀致密，膜/基结合强度大，硬度高，摩擦系数低，耐腐蚀性能优异，sp3键含量较大，适合大型工业化生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 类金刚石涂层 金属纳米 低掺杂 中间层 制备 材料处理技术 等离子体清洗 低温等离子体 工件表面清洗 大型工业化 金刚石涂层 金属碳化物 耐腐蚀性能 表面颜色 沉积金属 工件安装 固定夹具 金属元素 均匀致密 摩擦系数 生产需求 涂层表面 真空烘烤 高黑度 工件架 真空室 除气 | ||
【主权项】：
1.一种低掺杂金属纳米类金刚石涂层，其特征在于：包括自下而上依次沉积的金属中间层、金属碳化物中间层和类金刚石涂层，其中金属中间层沉积在工件表面。
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