[发明专利]阴极电弧装置有效
| 申请号： | 201711455919.X | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108103456B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 彭继华;苏东艺 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学;广州今泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄华莲;郝传鑫 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种阴极电弧装置，包括靶材以及下方安置的磁组件，磁组件包括永磁体和若干个线圈组件，靶材的正面为溅射面，含线圈组件的磁组件设置于靶材的背面下方，线圈组件包括若干个并列且交替设置的导磁块和绝缘块，导磁块上缠绕线圈，线圈的轴线穿过相邻的绝缘块，且线圈的轴线平行于靶材的溅射面。由于绝缘块处形成气隙，线圈和导磁块产生的磁场会在气隙处形成强漏磁，漏磁在平行于靶材溅射面的方向的磁场强度分量高，而交替设置的导磁块和绝缘块有利于保证靶材溅射面各点的磁场大小的一致性和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 导磁块 绝缘块 线圈组件 磁组件 交替设置 阴极电弧 溅射面 漏磁 磁场 磁场强度分量 靶材溅射面 离子源设备 缠绕线圈 轴线平行 均匀性 气隙处 永磁体 溅射 气隙 背面 平行 并列 穿过 安置 保证 | ||
【主权项】：
1.一种阴极电弧装置，其特征在于，包括靶材以及由若干个线圈组件组成的磁组件，所述靶材的正面为溅射面，所述线圈组件设置于所述靶材的背面，所述线圈组件包括若干个并列且交替设置的导磁块和绝缘块，所述导磁块上缠绕线圈，所述线圈的轴线穿过相邻的所述绝缘块，且所述线圈的轴线平行于所述靶材的溅射面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南理工大学;广州今泰科技股份有限公司，未经华南理工大学;广州今泰科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711455919.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高温防护涂层的制备方法
- 下一篇：一种自润滑纳米复合涂层及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
