[发明专利]一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路有效
申请号: | 201711456057.2 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN108489477B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 佟晓娜;陈祥发;张奇荣;权海洋 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
主分类号: | G01C19/5776 | 分类号: | G01C19/5776 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 徐辉 |
地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路,包括第一结型场效应管,第二结型场效应管,第一电阻,第二电阻,第三电阻,第四电阻,第一电容,第二电容。该电路采用半导体一次集成实现,采用低噪声N型JFET工艺实现了电路的超低噪声性能,电路仅由8个元件构成,相对于传统的MEMS传感器检测电路具有结构简单、体积小、功耗低、可靠性高等优点。便于与陀螺仪敏感元件二次集成,通过将陀螺仪敏感元件和微小信号拾取电路封装到一个地线包围的密闭环境里,从而可进一步提高系统的抗干扰特性和电磁屏蔽能力。本发明在电路中实现了带通滤波,滤除了敏感结构的干扰,提高了检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 微机 陀螺仪 微小 信号 拾取 电路 | ||
【主权项】:
1.一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路,其特征在于:包括第一结型场效应管(J1),第二结型场效应管(J2),第一电阻(R1),第二电阻(R2),第三电阻(R3),第四电阻(R4),第一电容(C1),第二电容(C2);第一结型场效应管(J1)的栅极接收机械陀螺仪输出的电流信号,并经第一电阻(R1)连接电源负极,源极连接电源负极,第一电容(C1)连接在栅极与漏极之间,漏极作为信号输出端;第二结型场效应管(J2)的栅极与源极之间连接第二电容(C2),漏极连接电源正极,源极连接第一结型场效应管(J1)的漏极;第三电阻(R3)和第四电阻(R4)串联在电源正、负极之间,第二电阻(R2)一端连接第三电阻(R3)和第四电阻(R4)的公共点,另一端连接第二结型场效应管(J2)的栅极。
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