[发明专利]一种靶材配套聚焦环的校圆工装

摘要

本发明公开了属于溅射技术领域的一种靶材配套聚焦环的校圆工装，该工装采取凸模与凹模配合校圆的一种模式。已经加工好的环靶材配套聚焦环放置在凹模的内部并且紧贴凹模的内模壁，凸模在小型油压机的作用下向下运动与凹模进行配合。凸模与凹模的间隙中为靶材配套聚焦环，凸模与凹模配合时以均匀的压力对靶材配套聚焦环进行校圆。经过适当的保压时间，达到校圆的目的。凹模底部设有弹性装置。校圆完成后凸、凹模分离时，弹性装置推动推件块向上运动，推动靶材配套聚焦环向上运动，达到一个取靶方便的目的，该工装操作简单、方便，可以避免靶材配套聚焦环圆度较差而引起的一系列问题。

主权项

一种靶材配套聚焦环的校圆工装，其特征在于，包括：模柄(1)、凸模(2)、凹模(4)和弹性装置(5)，其中模柄(1)、尼龙材质的凸模(2)和尼龙材质的凹模(4)三者的轴线共线；模柄(1)安装于凸模(2)的顶部；凸模(2)从上而下由轴线重合的凸模圆板(203)、凸模校圆柱(202)和凸模定心柱(201)一体构成，凹模(4)从外至内由轴线共线的凹模外空心圆柱(401)和凹模内空心圆柱(402)一体构成，沿凹模内空心圆柱(402)外径的顶面周向均匀竖直开有4‑6个弹性装置安装槽(403)，且弹性装置安装槽(403)并不穿透凹模内空心圆柱(402)的底面；弹性装置(5)由推件块(501)和强力弹簧(502)组成，其中强力弹簧(502)的下端与弹性装置安装槽(403)的槽底固接，强力弹簧(502)的上端安装有尼龙材质的推件块(501)；推件块(501)竖直安装于弹性装置安装槽(403)内；进行校圆工作时，靶材配套聚焦环(3)位于凸模(2)和凹模(4)所围成的环状空间中，凸模(2)与凹模(4)间的配合确保在校圆的完整流程中，靶材配套聚焦环(3)表面的花纹不被碰伤。