[发明专利]一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法有效
| 申请号： | 201711461392.1 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108195309B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘钰;于杰;张海涛;王丽萍;谢耀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法，该方法先利用测量系统，在N个等分角度下测量所述离轴非球面元件和测量系统组成的整体的面形误差，得到N个第一测量结果；再将所述N个第一测量结果分别逆时针旋转该第一测量结果对应的角度，得到N个第二测量结果；然后利用预设等分角度下的所述第一测量结果减去所述N个第二测量结果的平均值，得到第三测量结果；最后测量所述测量系统的误差的旋转对称项，记为第四测量结果，利用所述第一检测结果减去所述第三测量结果以及所述第四测量结果，得到所述离轴非球面元件的面形误差，以实现所述离轴非球面元件的面形误差的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离轴非 球面 元件 误差 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法，其特征在于，该方法包括：利用测量系统，在N个等分角度下测量所述离轴非球面元件和测量系统组成的整体的面形误差，得到N个第一测量结果，其中，N为不小于2的正整数；将所述N个第一测量结果分别沿第四预设方向旋转该第一测量结果对应的角度，得到N个第二测量结果；利用预设等分角度下的所述第一测量结果减去所述N个第二测量结果的平均值，得到第三测量结果；测量所述测量系统的误差的旋转对称项，记为第四测量结果；利用所述第一检测结果减去所述第三测量结果以及所述第四测量结果，得到所述离轴非球面元件的面形误差；其中，所述N个等分角度中的各角度分别为所述离轴非球面元件中某一条线在预设平面内与该预设平面内第一预设方向之间的角度，所述预设平面为水平面，所述第一预设方向为所述预设平面内任一方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711461392.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：3D扫描装置、系统及方法
- 下一篇：一种基于计算机视觉的刀具刃型检测装置
