[发明专利]一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法及用水系统

摘要

本发明涉及一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有i台线切机的储水罐使用纯水配制循环液；所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有j台线切机的储水罐使用水回收系统的生产用水配制循环液；所述水回收系统造成x％的水量损失；所述i+j＝n；且x％‑5％≤i/n×100％≤x％+5％。本发明通过在n台线切机中选取i台线切机使用纯水调配循环液，作为切割的标准硅片，时时比较使用废水回收的生产用水的j台线切机的切割硅片是否合格，克服了现有技术由于COD检测时间比较长，导致的取样点与生产线切割用水不一致导致的切割硅片不合格的问题。

主权项

1.一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，其特征在于，

所述金刚线切割晶体硅生产线携带有n台线切机，每台线切机具有储水罐，所述储水罐用于储存冲洗金刚线切割晶体硅工作台的循环液；循环液冲洗所述金刚线切割晶体硅工作台的废水被收集后，经过废水处理，调配得到生产用水；

所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有i台线切机的储水罐使用纯水配制循环液；

所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有j台线切机的储水罐使用生产用水配制循环液；

所述废水处理造成x％的水量损失；

所述i+j＝n；且x％‑5％≤i/n×100％≤x％+5％。

2.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述x％为20～25％；

优选地，所述n为正整数，优选30～60；

每台线切机的用水量相同。

3.如权利要求1或2所述的用水方法，其特征在于，满足如下条件之一则判断j台线切机的生产用水不合格：

(a)当j台线切机的断线率高于i台线切机的断线率的2％；

(b)当j台线切机的良品率低于i台线切机的良品率的1％；

优选地，当判断j台线切机的生产用水不合格时，调整生产用水的组成，或者排空用水系统的水，重新注入纯水进行生产。

4.如权利要求1～3之一所述的用水方法，其特征在于，所述循环液的组成为300～400重量份稀释水、1重量份药剂A冷却液、0.1重量份药剂B消泡剂；

优选地，在i台线切机使用的循环液中，所述稀释水为去离子水；

优选地，在j台线切机使用的循环液中，所述稀释水为生产用水；

可选地，所述j台线切机使用的循环液在j台线切机的储水罐中分别配制；

可选地，所述j台线切机使用的循环液统一配制，然后分别供给给所述j台线切机。

5.如权利要求1～4之一所述的用水方法，其特征在于，所述循环水供给给线切机的方式为溢流方式；

优选地，溢流量为100L/h以上；

优选地，所述过滤包括依次进行的压滤和陶瓷膜过滤；

优选地，所述生产用水的COD≤1800mg/L，pH值为5.5～7.5，电导率指标为≤30μs/cm，浊度≤100。

6.一种金刚线切割晶体硅生产线的用水系统，其特征在于，所述用水系统包括(I)废水收集系统，所述废水收集系统具有n个进水口，与金刚线切割晶体硅生产线的n台线切机废水出口连接，用于收集金刚线切割晶体硅生产线产生的废水；

(II)废水处理系统，与废水收集系统连接，用于将废水处理成生产用水；

(III)供水系统，与废水处理系统的出口连接，用于将生产用水提供给金刚线切割晶体硅生产线，所述供水系统通过至少一个第一循环液调节部件与j台线切机连接，提供循环液；

(IV)纯水系统，包括纯水储罐，所述纯水储罐通过至少一个第二循环液调节部件与i台线切机连接，提供冲洗液。

7.如权利要求6所述的用水系统，其特征在于，所述(II)废水处理系统包括依次连通的第一废液储存罐、压滤装置、第二废液储存罐、陶瓷膜过滤装置、第三液体储存罐；所述第三液体储存罐设置检测装置；

所述第三液体储存罐通过切换阀门与供水系统的生产用水储存罐、第一废液储存罐和工业废水罐连接，切换阀门构造为使得第三液体储存罐与生产用水储存罐、第一废液储存罐和工业废水罐选择性联通。

8.如权利要求6或7所述的用水系统，其特征在于，所述第一循环液调节部件包括管路混合器，第一药剂罐、第二药剂罐，所述管路混合器具有3个进口，分别连接第一药剂罐、第二药剂罐和供水系统，以及j个出口分别连接j台线切机。

9.如权利要求6或7所述的用水系统，其特征在于，所述j台线切机中，沿水流方向，在每台线切机的储水罐上游均设置药剂补充部件，包括管路混合器、第一药剂罐、第二药剂罐，所述管路混合器具有3个进口，分别连接第一药剂罐、第二药剂罐和供水系统，以及1个出口连接储水罐。