[发明专利]用于基板检测的气管接头及量测系统有效
| 申请号： | 201711463254.7 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108180830B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 史凯 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/01 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于基板检测的气管接头，包括中空的管体和光源，所述管体包括相互弯折并连通的第一管体和第二管体，所述第一管体和所述第二管体的自由端分别为用于连接进气管的进气端和供气体排出的出气端，所述光源固定在所述管体内，所述光源发出的光线自所述出气端射出。本发明还公开了一种用于基板检测的量测系统。本发明的气管接头内部具有光源，可以自其出气端射出光线，因此可以减少透明的载台上的照明盲区，降低气管接头本身对照明光源的遮挡对量测精确性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 气管接头 管体 基板检测 出气端 光源 量测系统 第二管 光源固定 射出光线 照明光源 照明盲区 供气体 进气端 进气管 透明的 中空的 自由端 量测 排出 射出 弯折 遮挡 连通 体内 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板检测的气管接头，其特征在于，包括中空的管体(10)和光源(20)、反射镜(30)，所述管体(10)包括相互弯折并连通的第一管体(11)和第二管体(12)，所述第一管体(11)和所述第二管体(12)的自由端分别为用于连接进气管(A)的进气端和供气体排出的出气端，所述光源(20)固定在所述管体(10)内，所述光源(20)发出的光线自所述出气端射出；所述反射镜(30)设置在所述管体(10)内、所述第一管体(11)和所述第二管体(12)连接形成的角部，且反射面同时朝向所述进气端和出气端，用于将自所述光源(20)射出的光线朝所述出气端反射出；所述第一管体(11)和所述第二管体(12)的相交处开设有通孔，所述光源(20)的发光端嵌设于所述通孔内，并朝向所述反射镜(30)的反射面。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711463254.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
