[发明专利]一种高精度激光加工装置与系统有效
| 申请号： | 201711463636.X | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107953040B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张文武;张广义 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/082;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 王惠 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种高精度激光加工装置及其加工系统，所述加工装置的特征在于，包括圆台体反射镜；所述圆台体反射镜包括位于外侧的第一锥面和位于所述圆台体轴线上的第二锥面；所述圆台体反射镜的第一锥面和第二锥面均涂覆有全反射涂层。该加工装置及其加工系统的应用突破了激光加工原有技术的扫描速度极限和加工尺度极限，能够有效减小热累积效应，并拓展了激光加工的有效范围，改善激光光束加工分辨率，实现超大与微小尺度结构的高精度加工，具有操作简单，成本低廉、高效可靠等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 激光 加工 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种高精度激光加工装置，其特征在于，所述装置包括圆台体反射镜；所述圆台体反射镜包括位于外侧的第一锥面和位于所述圆台体轴线上的第二锥面。
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