[发明专利]一种电容式环形动态聚焦空耦超声换能器有效
| 申请号： | 201711463972.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108303470B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张迪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/34 | 分类号： | G01N29/34 |
| 代理公司： | 11309 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电容式环形动态聚焦空耦超声换能器，包括金属基底，镀电极聚合物薄膜和相控阵延时激励电路；金属基底上表面设置有粗糙空穴，粗糙空穴覆盖有上表面镀电极的聚合物薄膜；金属基底由多个环形阵元构成，各环形阵元分别连接相控阵延时激励电路的一端，相控阵延时激励电路的另一端与偏置电压电路的一端连接，进而通过连接换能器金属基底电极作为激励源；其中，多个环形阵元形成环形聚焦相控阵，用于发射声波；偏置电压电路用于通过静电作用使聚合物薄膜与金属基底表面贴紧构成空穴谐振腔。本申请提供的电容式环形动态聚焦空耦超声换能器结构简单、加工制造成本低，可以实现尺寸较小阵元和实现动态聚焦，可以实现空耦动态无损检测，提高检测速度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 动态聚焦 金属基 空穴 超声换能器 聚合物薄膜 激励电路 电容式 环形阵 相控阵 延时 偏置电压电路 镀电极 上表面 粗糙 加工制造成本 金属基底表面 聚焦相控阵 声波 静电作用 无损检测 一端连接 底电极 换能器 激励源 谐振腔 分辨率 贴紧 阵元 发射 检测 覆盖 申请 | ||
【主权项】：
1.一种电容式环形动态聚焦空耦超声换能器，包括金属基底(1)，金属基底(1)上表面通过加工有粗糙空穴(2)，粗糙空穴(2)覆盖有聚合物薄膜(3)，聚合物薄膜(3)上表面镀有电极(4)；其特征在于，金属基底(1)由多个环形阵元(11)构成，各个环形阵元(11)分别连接相控阵延时激励电路(12)的一端，相控阵延时激励电路(12)的另一端与偏置电压电路(6)的一端连接，偏置电压电路(6)的另一端分别连接电极(4)和地线(8)；其中，/n多个环形阵元(11)形成环形聚焦相控阵，用于发射声波；偏置电压电路(6)用于通过静电作用使聚合物薄膜(3)与金属基底(1)贴紧构成粗糙空穴(2)；相控阵延时激励电路(12)用于对各个环形阵元(11)进行激励并产生多个偏置信号，多个偏置信号与偏置电压电路混合形成所述超声换能器的激励信号。/n
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