[发明专利]一种金刚线切割晶体硅生产线及其用水系统

摘要

本发明涉及一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，所述金刚线切割晶体硅生产线携带至少一台线切机，所述线切机使用金刚石线锯将硅棒切割为硅片，在金刚石线锯切割过程中来自线切机储水罐的循环水冲洗切割部件；冲洗切割部件后的废水被收集，将废水处理得到生产用水；所述生产用水经过调配得到循环水，循环水供给给线切机使用。本发明通过将金刚线切割晶体硅生产线产生的废水，进行处理得到生产用水，补充纯净水，调配组成后作为循环水继续进入金刚线切割晶体硅生产线用作冷却水和/或冲洗水，一方面能够大量节省用水和减少废水排放，另一方面能够降低用水量和排水量的峰值，降低设备的额定容量。

主权项

1.一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，其特征在于，

所述金刚线切割晶体硅生产线携带至少一台线切机，所述线切机使用金刚石线锯将硅棒切割为硅片，在金刚石线锯切割过程中来自线切机储水罐的循环水冲洗切割部件；冲洗切割部件后的废水被收集，将废水处理得到生产用水；所述生产用水经过调配得到循环水，循环水供给给线切机使用。

2.如权利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述循环水供给给线切机的方式为溢流方式；

优选地，溢流量为100L/h以上；

优选地，所述废水处理的过程包括依次进行的压滤和陶瓷膜过滤；

优选地，所述生产用水的COD≤1800mg/L，pH值为5.5～7.5，电导率指标为≤30μs/cm，浊度≤100。

3.如权利要求1或2所述的用水方法，其特征在于，所述循环水按重量份数包括300～400重量份稀释水、1重量份药剂A冷却液、0.1重量份药剂B消泡剂；

优选地，所述稀释水包括纯水和/或生产用水，优选为纯水和生产用水的混合水，其中纯水的添加量为废水处理过程中的水损失量。

4.如权利要求1～3之一所述的用水方法，其特征在于，所述生产用水经过调配得到循环水的过程为：

将所述生产用水分配到每台线切机，并在所述线切机的储水罐中按照循环水组成比例进行循环水调配。

5.一种金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述生产线包括：

(i)金刚线切割晶体硅单元，包括至少一台线切机，所述线切机具有一个储存循环水的储水罐；

(ii)废水收集系统，用于收集金刚线切割晶体硅生产线产生的废水；

(iii)废水处理系统，用于将废水收集系统收集的废水处理成生产用水；

(iv)供水系统，与废水处理系统的出口连接，用于将生产用水提供给金刚线切割晶体硅单元的线切机，所述生产用水由供水系统输送至生产用水储水罐；

(v)调节系统，用于将生产用水调节组成得到循环水。

6.如权利要求5所述的金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述(iii)废水处理系统包括依次连通的第一废液储存罐、压滤装置、第二废液储存罐、陶瓷膜过滤装置、第三液体储存罐；所述第三液体储存罐设置检测装置；

所述第三液体储存罐通过切换阀门与供水系统的生产用水储存罐、第一废液储存罐和工业废水罐连接，切换阀门构造为使得第三液体储存罐与生产用水储存罐、第一废液储存罐和工业废水罐选择性联通。

7.如权利要求5所述的金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述(v)调节系统，包括纯水补充部件，用于补充废水处理系统损失的水；试剂补充部件，用于调配循环水种的药剂A冷却液和药剂B消泡剂。

8.如权利要求7所述的金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，沿水流方向，所述药剂补充部件设置于线切机的储水罐上游，包括管路混合器、第一药剂罐、第二药剂罐，所述管路混合器具有3个进口，分别连接第一药剂罐、第二药剂罐和供水系统，以及1个出口连接储水罐。

9.如权利要求7所述的金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述纯水补充部件设置于废水处理系统与金刚线切割晶体硅单元之间的管路上。