[发明专利]一种金刚线切割晶体硅生产线及其用水系统

摘要

本发明涉及一种金刚线切割晶体硅生产线，所述金刚线切割晶体硅生产线包括：(i)金刚线切割晶体硅单元，包括至少一台线切机，所述线切机具有一个储存循环水的储水罐，所述储水罐连接第一试剂罐和第二试剂罐；(ii)废水收集系统；(iii)废水处理系统；(iv)供水系统。本发明通过在金刚线切割晶体硅线切机的储水罐选择性调控循环水，能够实现根据线切机的工作状态分别调控不同线切机循环水组成的目的，所述调节能够实现针对线切机工作状态适当调节组成，避免过度加入试剂造成生产用水过度富集某一组分的问题。

主权项

1.一种金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述金刚线切割晶体硅生产线包括：

(i)金刚线切割晶体硅单元，包括至少一台线切机，所述线切机具有一个储存循环水的储水罐，所述储水罐连接第一试剂罐和第二试剂罐；

(ii)废水收集系统，用于收集金刚线切割晶体硅单元产生的废水；

(iii)废水处理系统，用于将废水收集系统收集的废水处理成生产用水；

(iv)供水系统，进水口与废水处理系统的出水口连接，用于将生产用水提供给金刚线切割晶体硅单元的线切机，所述生产用水由供水系统输送至线切机的储水罐。

2.如权利要求1所述的金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述供水系统、第一试剂罐和第二试剂罐连接同一个管路混合器，所述管路混合器与储水罐联通；

优选地，所述供水系统连接有纯水补充罐。

3.如权利要求1或2所述的金刚线切割晶体硅生产线，其特征在于，所述(iii)废水处理系统包括依次连通的第一废液储存罐、压滤装置、第二废液储存罐、陶瓷膜过滤装置、第三液体储存罐；所述第三液体储存罐设置检测装置；

所述第三液体储存罐通过切换阀门与供水系统的生产用水储存罐、第一废液储存罐和工业废水罐连接，切换阀门构造为使得第三液体储存罐与生产用水储存罐、第一废液储存罐和工业废水罐选择性联通。

4.一种如权利要求1～3之一所述金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，其特征在于，所述方法包括重复进行的如下步骤：

(1)打开供水系统、第一试剂罐和第二试剂罐的管路开关，按照配方比例配制循环水，并将循环水输送至储水罐中，打开储水罐出水口，用循环水冲洗线切机；

(2)开启线切机切割晶体硅，保持循环水输送至储水罐，同时保持储水罐出水，用循环水冲洗线锯缝，直至切割完毕，切割过程中冲洗的废水回收进入废水收集系统；

(3)切割完毕关闭第一试剂罐和第二试剂罐的管路开关，保持供水系统管路打开，用生产用水冲洗线切机，冲洗产生的废水回收进入废水收集系统；

(4)废水从废水收集系统进入废水处理系统经过处理得到生产用水，生产用水通过供水系统进入线切机储水罐。

5.如权利要求4所述的用水方法，其特征在于，所述循环水输送至储水罐的方式为溢流方式；

优选地，溢流量为100L/h以上。

6.如权利要求4或5所述的用水方法，其特征在于，所述生产用水的COD≤1800mg/L，pH值为5.5～7.5，电导率指标为≤30μs/cm，浊度≤100；

优选地，所述废水处理系统的处理过程包括依次进行的压滤和陶瓷膜过滤。

7.如权利要求4～6之一所述的用水方法，其特征在于，所述循环水按重量份数包括300～400重量份稀释水、1x重量份冷却液、0.1x重量份消泡剂；

当稀释水的COD≤800mg/L时，x＝1；

当稀释水的COD满足800＜COD≤1200mg/L时，x为0.9；

当稀释水的COD满足1200＜COD≤1600mg/L时，x为0.8；

当稀释水的COD＞1600，x为0.7。

8.如权利要求4～7之一所述的用水方法，其特征在于，所述稀释水包括纯水和/或生产用水，优选为纯水和生产用水的混合水，其中纯水的添加量为废水处理过程中的水损失量。

9.如权利要求4～8之一所述的用水方法，其特征在于，所述生产用水进入供水系统之前补入纯水；

所述纯水的补入量为废水处理系统过程中的水损失量。