[发明专利]物镜畸变检测方法及装置有效

专利信息
申请号: 201711465897.5 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN109974977B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 陈新东;张鑫;杨旺;苗亮;曹艳波;孙志远 申请(专利权)人: 长春长光华大智造测序设备有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 廖金晖;彭家恩
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种物镜畸变检测方法及装置,其中,物镜畸变检测装置,包括:激光照明组件;标记靶,在靶面上设有阵列的并与被测物镜所有视场对应的标记孔;二元光学组件,二元光学组件上设有若干个补偿区;波前探测器。本检测装置能够用于测量被测物镜的畸变,不受视场大小限制,可实现对大视场的物镜进行畸变检测。本检测装置通过二元光学组件将被测物镜的出射光直接补偿照射至波前探测器测量畸变,代替了现有技术中通过转台记录角度值测量畸变,避免了转台角度误差,提高了测量的精度;并且本检测装置可竖直或水平放置,可用于检测竖直或水平放置的物镜,从而可用于检测浸液物镜和干式物镜,用途更为广泛。
搜索关键词: 物镜 畸变 检测 方法 装置
【主权项】:
1.一种物镜畸变检测装置,其特征在于,包括:用于发射激光的激光照明组件;标记靶,其可调节的安装在所述激光照明组件发射光的光路上,在靶面上设有阵列的并与被测物镜待检测视场对应的标记孔;二元光学组件,其可调节的安装在所述标记靶出射光的光路上,并与所述标记靶之间具有用于放置被测物镜的空间;所述二元光学组件上设有若干个补偿区,若干个所述补偿区可分别调节至与被测物镜的不同视场对应,所述补偿区用于将被测物镜不同视场的出射光补偿至平行光出射;波前探测器,其可调节的安装在所述二元光学组件出射光的光路上,用于接受所述二元光学组件的出射光,及生成用于计算物镜视场畸变的探测信息。
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