[发明专利]分离装置及分离方法

摘要

本发明公开一种分离装置及分离方法。该分离装置，适于将可挠薄膜从基板分离。分离装置包括分离单元及离形纹调整单元。分离单元适于施加拉力于可挠薄膜及基板的至少其中之一，以使可挠薄膜与基板相互分离。在可挠薄膜与基板相互分离的过程中，可挠薄膜的尚未分离于基板的部分与可挠薄膜的已分离于基板的部分之间形成离形纹。离形纹调整单元包括至少一位移感测元件及至少一施压元件。位移感测元件适于感测可挠薄膜与基板的相对位移状态以判断离形纹的分布。施压元件适于施加下压力于可挠薄膜或基板并依据相对位移状态而增加或减少下压力，以调整离形纹的分布。

主权项

1.一种分离装置，适于将可挠薄膜从基板分离，其特征在于，该分离装置包括：分离单元，适于施加拉力于该可挠薄膜及该基板的至少其中之一，以使该可挠薄膜与该基板相互分离，其中在该可挠薄膜与该基板相互分离的过程中，该可挠薄膜的尚未分离于该基板的部分与该可挠薄膜的已分离于该基板的部分之间形成离形纹；以及离形纹调整单元，包括至少一位移感测元件及至少一施压元件，其中该至少一位移感测元件适于感测该可挠薄膜与该基板的相对位移状态以判断该离形纹的分布，该至少一施压元件适于施加下压力于该可挠薄膜或该基板并依据该相对位移状态而增加或减少该下压力，以调整该离形纹的分布。