[发明专利]基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置及其方法

摘要

本发明涉及基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置及方法，在皮秒激光器的光路输出端布置有反射镜，反射镜的反射光路上布置有第一透镜，第一透镜的输出光路的下方布置有水腔，水腔具有储水腔体，其侧面设有一进水口，上顶面和下底面均有开孔，上顶面的开孔处固定一窗口镜片，下底面的开孔处固定一红宝石喷嘴，红宝石喷嘴的下方设有用于放置金刚石的电动平台；所述反射镜的正上方依次布置有第二透镜和相机。将高能量的超短激光脉冲耦合至极微细的高速水射流中，突破光学聚焦焦深的限制，具有较长的可加工区间，实现对较厚材料的切割；由于水射流柱直径极细，实现极高的切割精度，材料损耗较小；加工时因水射流的冷却作用将热影响进一步减小。

主权项

1.基于超短脉冲水导激光加工金刚石的装置，其特征在于：在皮秒激光器(1)的光路输出端布置有反射镜(2)，反射镜(2)的反射光路上布置有第一透镜(3)，第一透镜(3)的输出光路的下方布置有水腔(4)，水腔(4)具有储水腔体，其侧面设有一进水口(7)，上顶面和下底面均有开孔，上顶面的开孔处固定一窗口镜片(5)，下底面的开孔处固定一红宝石喷嘴(6)，红宝石喷嘴(6)的下方设有用于放置金刚石的电动平台(8)；所述反射镜(2)的正上方依次布置有第二透镜(9)和相机(10)。