[发明专利]一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法有效
| 申请号： | 201711470767.0 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107907707B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;叶一舟;秦明;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/10 | 分类号： | G01P5/10;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法，该传感器结构简单，且易于测量，具有高灵敏度。所述基于双层热电堆结构的风速风向传感器，所述风速风向传感器包括硅衬底、位于硅衬底上方的二氧化硅层，以及位于二氧化硅层中的加热电阻、上层热电堆组和下层热电堆组；上层热电堆组和下层热电堆组上下布设；加热电阻分别与第一加热电阻接触块和第二加热电阻接触块连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双层 热电 结构 风速 风向 传感器 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器，其特征在于，所述风速风向传感器包括硅衬底(1)、位于硅衬底(1)上方的二氧化硅层(2)，以及位于二氧化硅层(2)中的加热电阻(3)、上层热电堆组和下层热电堆组；上层热电堆组和下层热电堆组上下布设；加热电阻(3)分别与第一加热电阻接触块(12)和第二加热电阻接触块(13)连接；所述上层热电堆组包括第一上层热电堆(8)、第二上层热电堆(9)、第三上层热电堆(10)和第四上层热电堆(11)；第一上层热电堆(8)两端分别与第一上层热电堆接触块(22)和第二上层热电堆接触块(23)连接，第二上层热电堆(9)两端分别与第三上层热电堆接触块(24)和第四上层热电堆接触块(25)连接，第三上层热电堆(10)两端分别与第五上层热电堆接触块(26)和第六上层热电堆接触块(27)连接，第四上层热电堆(11)两端分别与第七上层热电堆接触块(28)和第八上层热电堆接触块(29)连接。
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