[发明专利]一种表面陷阱能级分布的测量装置及光电导分析方法有效
| 申请号： | 201711470872.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108196178B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 曾慧中;何鹏;何月;周瑶;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 51203 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于陷阱能级分布测量领域，提供一种表面陷阱能级分布测试装置及光电导分析方法，用以实现样品表面陷阱能级分布测量。本发明测试装置，包括真空恒温腔体、真空泵、温度控制系统、固体激光器、数字电压电流源表及计算机；通过数字电压电流源表在待测样品两端施加一个恒定的预设电压，测量得到暗电流；然后，开始光电导测试，测量得到光电衰减曲线；最后根据光电导衰减曲线计算样品表面陷阱能级分布。本发明中恒温腔体提供一个黑暗、恒温的真空环境，使整个测量过程中有效避免温度、气氛和外界光源的干扰，大大提高测量精度；同时采用亚禁带激光激发得到的光电导曲线，能够准确反应禁带内缺陷分布，排除本征缺陷的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光电导 陷阱能级 能级 表面陷阱 测试装置 电流源表 分布测量 数字电压 衰减曲线 样品表面 测量 禁带 温度控制系统 固体激光器 本征缺陷 测量过程 测量装置 待测样品 恒温腔体 激光激发 缺陷分布 外界光源 预设电压 真空恒温 真空环境 暗电流 恒定的 真空泵 腔体 分析 黑暗 施加 测试 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种表面陷阱能级分布测试装置，包括真空恒温腔体、真空泵、温度控制系统、固体激光器、数字电压电流源表及计算机；其特征在于，所述真空恒温腔体内部设置有用于放置待测样品的样品台；所述真空泵用于真空恒温腔体抽真空；所述温度控制系统用于调节待测样品温度；所述固体激光器用于提供光子能量小于待测样品禁带宽度的激光源、通过光纤传输照射待测样品表面；所述数字电压电流源表用于提供恒定电压源、通过探针施加于待测样品，并测量待测样品两探针之间的电流值；所述计算机用于采集电流值、并进行数据处理后输出测试结果。/n
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