[发明专利]LTCC超快加工系统及其方法

摘要

本发明涉及LTCC超快加工系统及方法，依光路方向设有：激光器，输出光束；第一反射单元，将从激光器输出光束射入光束整形模组；光束整形模组，对光束进行扩束和过滤；衰减模组，将入射光分成平行方向和垂直方向的两束光；第二反射单元，将分光后的水平方向的P偏光入射至第一扫描单元；第一扫描单元，将第二反射单元反射的光束进行聚焦，场镜聚焦至加工对象上；第三反射单元，将分光后的垂直方向的S偏光入射至第二扫描单元；第二扫描单元，将第三反射单元反射的光束进行聚焦，场镜聚焦至加工对象上。采用超快绿光皮秒激光器及与之相匹配的高速振镜和光学器件，将LTCC基板上微通孔直径降至50μm以下，微通孔圆度达到95％以上，锥度3μm内。

主权项

1.LTCC超快加工系统，其特征在于：依光路方向设置有：激光器(A)，输出光束；第一反射单元，包含依光路方向布置的第一反射镜(C1)，将从激光器(A)输出的光束射入光束整形模组(B)；光束整形模组(B)，对光束进行扩束并改变扩束光斑的大小，且对扩束之后激光光束进行过滤；衰减模组(D)，改变整形后激光光束的偏振态并将入射光分成平行方向和垂直方向的两束光，包含偏振玻片(D1)和偏光立方体分光器(D2)，偏振玻片(D1)位于偏光立方体分光器(D2)入射光口，偏振玻片(D1)改变入射光束的偏振态，调节光束中P偏光与S偏光的比例，偏光立方体分光器(D2)根据光的偏振态将光分成两个互相垂直的方向出射，P偏光从平行方向出射，S偏光从垂直方向出射；第二反射单元，包含依分光之后的水平光路方向依次布置的第二反射镜(C2)、第三反射镜(C3)和第四反射镜(C4)，将分光后的水平方向光入射至第一扫描单元；第一扫描单元，将第二反射单元反射的光束进行聚焦，包含依光路方向依次布置的振镜(E1)和场镜(F1)，分光后的水平方向的P偏光光经第二反射单元射到振镜(E1)的镜片上，由场镜(F1)聚焦至加工对象上；第三反射单元，包含依分光之后的垂直光路方向依次布置的第五反射镜(C5)和第六反射镜(C6)，将分光后的垂直方向的S偏光入射至第二扫描单元；第二扫描单元，将第三反射单元反射的光束进行聚焦，包含依光路方向依次布置的振镜(E2)和场镜(F2)，分光后的垂直方向光经第三反射单元射到振镜(E2)的镜片上，由场镜(F2)聚焦至加工对象上；加工平台(G)，用于放置加工材料。