[发明专利]一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置

摘要

本发明公开了一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置，包括至少三个柔性支撑机构，柔性支撑机构结构一致，包括电机、柔性铰链、差分螺纹减速器和位移传感器，电机置于轴的两端，电机在与差分螺纹减速器的外壳连接处与柔性铰链固定连接，差分螺纹减速器的外壳之间可以相对滑动，柔性铰链外形为八边形结构，正交方向四个面为不可变形的安装面，柔性铰链另外其他四个面为可变形的薄板结构；电机带动差分螺纹减速器外壳轴向运动，进而带动柔性铰链可变形薄板改变角度，实现柔性铰链不可变形安装面的径向移动，通过柔性支撑机构间的三维调整，实现对安装在不可变形安装面上的反射镜的调整。

主权项

1.一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置，其特征在于：包括至少三个柔性支撑机构，柔性支撑机构结构一致，包括电机(1)、柔性铰链(2)、差分螺纹减速器(3)和位移传感器(4)，

电机(1)置于轴的两端，电机(1)在与差分螺纹减速器(3)的外壳连接处与柔性铰链2固定连接，差分螺纹减速器3的外壳之间可以相对滑动，

柔性铰链(2)外形为八边形结构，正交方向四个面为不可变形的安装面，柔性铰链(2)另外其他四个面为可变形的薄板结构；

电机带动差分螺纹减速器(3)外壳轴向运动，进而带动柔性铰链(2)可变形薄板改变角度，实现柔性铰链(2)不可变形安装面的径向移动，通过柔性支撑机构间的三维调整，实现对安装在不可变形安装面上的反射镜的调整。

2.如权利要求1所述的一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置,其特征在于：正交方向四个不可变形的安装面中两个相对面分别在与电机(1)及差分螺纹减速器(3)外壳连接处固定连接，另外两个相对面连接有位移测量面，位移传感器(4)通过与位移测量面的接触感知柔性铰链(2)径向位移的变化。

3.如权利要求1所述的一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置,其特征在于：差分螺纹减速器(3)为双冗余，且同轴固定连接。

4.如权利要求3所述的一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置,其特征在于：在轴上设置有两道反向螺纹，电机的转动带动差分螺纹减速器(3)的轴转动，通过差分螺纹减速器(3)的转向件带动差分螺纹减速器(3)外壳轴向运动。

5.如权利要求1所述的一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置,其特征在于：利用每个柔性支撑机构的沿径向的一维运动组合实现二维转动，以及在径向移动一致的情况下，沿反射镜轴向一维移动，实现对反射镜的三维调整。

6.如权利要求1所述的一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置,其特征在于：可变形薄板的厚度为1‑2mm。

7.如权利要求1所述的一种基于柔性铰链的高精度、高稳定反射镜调整装置,其特征在于：柔性支撑机构为三个，三者呈120°角分布。