[发明专利]旋转靶材制备设备有效
| 申请号： | 201711478720.9 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108193180B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;谭继军;谭建林;文崇斌;朱刘 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 制备 设备 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶材制备设备，其特征在于，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置，所述加热装置上设置有将融化的所述靶材原料喷出的喷出装置；与所述喷出装置对接的喷涂装置，所述喷涂装置内设置容置待成型靶材管材沿其轴向传输的喷涂通道，所述喷涂装置上还开设有连通所述喷出装置的喷头和所述喷涂通道的喷涂腔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清远先导材料有限公司，未经清远先导材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711478720.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
